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单晶硅炉

单晶硅炉是晶体生长设备,主要用于太阳能行业单晶硅的生长,其通过提拉速度、转速,温度等参数的控制,达到控制单晶硅棒生长的目的。博视智动公司研发的单晶硅炉控径系统,是利用图像视觉的原理,对于生长过程中的单晶硅棒进行过程监控,并把其测量数据反馈给控制系统,控制系统根据直径的变化量对炉体内拉速和温度进行修整从而达到控径的目的。

该系统工艺流程覆盖引晶、放肩、转肩、等径,可以实现全自动化的控制以及工艺的自动切换,两台高分辨率相机保证了整个工艺流程的控制精度。强大的数据统计记录功能,保证对整个工艺流程的监控和追溯。采用先进的图像算法保证测量结果的稳定性和及时性。

 

视觉需求

  • 图像测量精度:0.1mm
  • 系统精度:1mm
  • 图像测量速度:每0.2s输出一次测量结果
  • 硅棒种类:多种规格单晶硅棒
  • 防晃动检测
  • 对各个工艺流程实现全自动控制,且实现工艺的自动切换
  • 强大的数据统计记录功能,对整个工艺流程进行监控和追溯

 

系统特点及原理

  • 引晶阶段:利用ROI功能,增加帧速率,完成高速测量并反馈给控径系统;
  • 放肩阶段:实时跟踪硅棒的放大过程,保证测量的连续性
  • 转肩阶段:相机实时跟踪转肩过程,并完成结果输出
  • 等径阶段:实时监控硅棒直径,并反馈给控制系统,间接控制温度和提升速度,转速

方案

光源和电源:同轴光点光源

相机:

软件

图片